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使用热压真空烧结炉时的异常情况应急方法

  • 发布日期:2020-05-27      浏览次数:268
    •    热压真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。
       
        使用热压真空烧结炉时的异常情况应急方法:
        冷却水异常
        1、确认加热电源已停止。
        2、炉外发生漏水,冷却水量异常时,应尽快采取应急措施,如能保证水量,请继续保持真空,如不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却下来。
        3、冷却水发生异常时,设备处于停止状态,马上接通紧急用冷却水。
        4、在高温(超过200℃即视为高温)时,如果冷却水停止了,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。
       
        压缩空气的停止
        1、压缩空气异常报警时,设备处于停止状态,应尽快到备用的压缩机房,让其恢复工作。
        2、真空中如压缩空气异常报警,且恢复需要较长时间时,则终止真空,让设备停下来。
       
        突然停电
        1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。
        2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。
        3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。